Физические свойства нитридов металлов третьей группы делают их перспективными для создания многих электронных, акустоэлектронных и оптоэлектронных приборов. Наши исследования в области создания структур методами нанотехнологии позволили получить гетероструктуры с высокими значениями концентрации и подвижности электронов в двумерном электронном газе (2DEG). На их основе созданы транзисторы с высокой подвижностью электронов (HEMT), с плотностью тока более 1 А/мм. Результаты получены за счет высокой четкости гетерограниц в эпитаксиальной структуре. Умение формировать эпитаксиальные пленки с низкой плотностью дефектов на поверхности позволяет нам также создавать СВЧ акустоэлектрические преобразователи поверхностной акустической волны и приборы на их основе. Основным инструментом литографии в данном случае выступает фокусированный ионный пучок (FIB).
В московском институте электронной техники работа над химическими сенсорами на основе наноматериалов была начата в 2006 году. Тогда же были получены первые результаты по чувствительности к хлору и аммиаку (2 молекулы хлора на миллион молекул воздуха – 2ppm). На сегодняшний день кроме нанотрубок ведутся исследования по использованию других наноматериалов и их смесей. В частности большую надежду вызывают сенсоры на сверхтонком (порядка 10 атомарных слоев) графите и смеси углеродных нанотрубок с нановолокнами ZnO.
На сегодняшний день мы разрабатываем методики повышения чувствительности и селективности разрабатываемых сенсоров. Ведутся работы по улучшению конструкции самих датчиков, и чувствительности и, главное, селективности. Разработано малогабаритное устройство, в которое установлен датчик.
Рост углеродных нанотрубок можно производить как на различных поверхностях, так и внутри материалов, что может приводить, в свою очередь, к изменениям свойств, как поверхностей, так и материала в целом. Чтобы синтезировать УНТ внутри материалов они должны иметь в своей структуре частицы катализатора, к которым должен быть обеспечен транспорт углеродсодержащей парогазовой смеси.
В настоящий момент актуальной является задача формирования био-нано-электронных систем для моделирования и исследования процессов, происходящих в живых органах и тканях на микро и наномасштабах, а также для формирования нового поколения гибридных электронных схем обеспечивающих сопряжение живых и неживых объектов для создания различных сенсорных систем, в том числе имплантируемых.
